CO2 Gaz Sensörü Uygulamaları için CuO İnce Film Üretimi ve Karakterizasyonu

Abstract

Katma değeri yüksek, ileri teknoloji ve yüksek maliyet gerektiren malzemelere alternatif olarak ince film kaplama yöntemleri ile eşdeğer yüzey özelliklerine sahip ekonomik malzemeler üretilebilmektedir. İnce film biriktirme yapılarak farklı sensörler, fotovoltaik hücreler, elektronik uygulamalar ve filtreler gibi çeşitli teknolojik malzemelerin temelini oluşturan yarı iletken yüzeyler üretmek mümkündür. Çeşitli fosil yakıtlar ve atıkların yanması ile farklı gazlar açığa çıkmaktadır. Çevreye zarar vermekte ve sağlığa olumsuz etkileri olan bu gazların tespit edilmesi gerekmektedir. CuO yarıiletken ince filmler karbondioksit, etanol, amonyak gibi farklı gazların belirlenmesi ve gerekli uyarıların verilmesinde gaz sensörü olarak kullanımı amacı üzerine çalışmalar yapılmaktadır. Bu çalışma kapsamında cam yüzeyler üzerine CuO yarıiletken ince filmler biriktirilerek gaz sensörü olarak kullanımı test edilmiştir. CuO yarı iletken ince filmlerin CO2 gazının tespitinde alternatif bir gaz sensörü olarak kullanılabileceği tespit edilmiştir.